青山湖科技城打造微纳手艺研发开放平台

科技日报记者江耘 练习生黄龄亿

24日，2019青山湖集成电路财产成长钻研会暨毛钧业师长教师诞辰100周年数念会在杭州青山湖科技城进行。记者领会到，青山湖科技城依托多个国度科技重年夜专项，培养成长集成电路财产，打造微纳智造小镇，在不到两年时候里会聚了37个总投资260余亿元的财产链项目。

青山湖科技城于2009年11月30日奠定扶植，本年该城扶植10周年。临安区委常委、青山湖科技城党工委书记王翔先容，十年实业，制造智城，青山湖科技城正年夜力推动集成电路数字财产化、设备制造财产数字化。集成电路相干财产首要集中在微纳智造小镇。

杭州市当局党构成员、杭州城西科创财产会聚区党工委书记、管委会主任李玲先容道，青山湖微纳智造小镇已被列进浙江主要的集成电路财产培养基地。下一步，将在区域计划、财产重年夜项目结构、政策资金等方面，赐与更多更年夜撑持和倾斜。

青山湖微纳手艺研发开放平台（以下简称微纳平台）是青山湖科技城本年打造的一个主要平台。据领会，微纳平台是以12英寸特点高端芯片工艺研发为焦点，笼盖通用芯片设计和测试办事的开放性平台，其首要功能包罗电路设计、工艺研发、小批量产、测试阐发等。

浙江省自旋电子材料器件与系统重点尝试室总监孟皓先容道，今朝，该平台已具有光刻机等60多台套关头装备、2300平方米干净室、焦点手艺主干专家170余人，可为集成电路企业供给手艺研发、立异平台和小批量量产、中试等办事。

王翔暗示，青山湖微纳手艺研发开放平台，为全国的微纳手艺企业、科研机构，供给芯片设计、研发、流片、测试办事。

有了当局的延续推动，外加产学研合作的杰出根本。微纳小镇吸引了18个项目落地运行和扶植。如驰拓科技新型高端存储芯片研发中试基地周全投用；启尔电机刻光刻机浸液系统研制与中试基地项目周全投用、科研职员全数进驻；清华年夜学华卓精科光刻机工件台项目已动建。