国产扫描电镜制造获得进展

高通量（场发射）扫描电子显微镜 方针摄

科技日报记者 华凌 通信员 方针

对材料微不雅布局的不雅测一般离不开“微不雅相机”，即扫描电子显微镜。由此，在材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研究范畴火急需要这类“利器”。但是，今朝我国科研与产业部分所用的扫描电镜严重依靠入口，每一年破费上亿美元从美国、日本、德国和捷克斯洛伐克等国采购扫描电镜。国产扫描电镜也都集中在低端产物范畴。

记者近日从北京经济手艺开辟区得悉，由园区孵化的立异企业聚束科技（北京）有限公司（以下简称聚束科技）自立研发的高通量（场发射）扫描电子显微镜，以什物通电工作状况展现高端电镜的风度，破解了国产扫描电镜“弱视”题目。

“该系统可对工程级材料进行整体纳米晶粒、成份散布统计等电镜微辨别析，视频级纳米阐发能力，使扫描电镜从传统意义的纳米‘拍照机’跃变成纳米‘摄像机’。”聚束科技总司理何伟告知记者。一名业内资深人士暗示，“固然市场还不是出格年夜，但它是多个科研范畴用于科学阐发的关头仪器装备”。

据领会，今朝领航者扫描电镜在国内装机数目到达10台（套），并出口海外，实此刻国内重年夜科研项目上的示范性利用。下一步，扫描电镜装备还将被纳进一些着名半导体芯片制造商的尝试室里，协助进行开辟阐发，助力高端制造成长。